【国家标准】电子级四氯化钛

本网站发布时间： 2025-12-18

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

本文件规定了电子级四氯化钛产品的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全警告等，描述了对应的试验方法。
本文件适用于电子级四氯化钛。该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化钛、特种光纤、特种合成石英等的制造。

起草人：
李楷东、童祎、曹可慰、罗全安、史泽远、徐文涛、李春华、马瑞、李开华、常燕、李俊强、许伟春、张金宝、赵俊莎、王丽娟、陈萍、吴怡然、王炳、万烨、李建军、张宝帅、马昕、姜士兵、曹轲
起草单位：
武汉新硅科技潜江有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、上海市计量测试技术研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、中信钛业股份有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子级四氯化钛