【国家标准】电子级八甲基环四硅氧烷

本网站发布时间： 2025-12-18

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标准简介

本文件规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了对应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷，以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。

起草人：
陈德义、沈伊凡、曹可慰、茅炳荣、史泽远、曹益宁、孙建、赵俊莎、刘立伟、马瑞、孙鹏、张婷、徐文涛、李春华、张健、何靖、鲁铮、吴怡然、白伟、宋芳源、万烨、高周、王荣、李加旺、江晓婷、毛国玉、张宝帅、李俊杰、汪晨、孙丽丽、刘阳赞、王勇、陈功锋、陆平、张鹏、李书兵、彭元兵、刘能巧、王敏华、李双、魏有文、刘治、陈琪、钱瑶
起草单位：
南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、浙江佳汇新材料有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、上海市计量测试技术研究院、云南能投硅材科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、浙江新安化工集团股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、湖北兴瑞硅材料有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、金宏气体股份有限公司、南大光电(淄博)有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子级八甲基环四硅氧烷