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GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧 现行 发布日期 :  2009-10-30 实施日期 :  2010-05-01

本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。
分子式:O2。
相对分子质量:31.998 8(按2005年国际相对原子质量计算)。

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GB/T 14850-2020 气体分析 词汇 现行 发布日期 :  2020-03-31 实施日期 :  2021-02-01

本标准定义了气体分析相关的术语,主要侧重于气体分析和气体测量中使用的校准用混合气体相关的术语。不包括仅与特定应用相关的术语。

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GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷 现行 发布日期 :  2015-09-11 实施日期 :  2016-05-01

本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式:C3F8。相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

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GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷 现行 发布日期 :  2015-09-11 实施日期 :  2016-05-01

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。

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GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨 现行 发布日期 :  2015-12-31 实施日期 :  2016-07-01

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.830 419 2(按2009年国际相对原子质量计算)。

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GB/T 33318-2016 气体分析 硫化物的测定 硫化学发光气相色谱法 现行 发布日期 :  2016-12-13 实施日期 :  2017-07-01

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GB/T 34091-2017 电子工业用气体 六氟乙烷 现行 发布日期 :  2017-07-31 实施日期 :  2017-11-01

本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。分子式:C2F6。相对分子质量:138.012 4(按2013年国际相对原子质量)。

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GB/T 34226-2017 黄磷尾气制甲酸技术导则 现行 发布日期 :  2017-09-07 实施日期 :  2018-04-01

本标准规定了黄磷尾气制甲酸生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输等技术要求。本标准适用于新建、扩建和改建的黄磷尾气制甲酸生产装置。

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GB/T 34245-2017 黄磷尾气制甲酸安全技术规程 现行 发布日期 :  2017-09-07 实施日期 :  2018-04-01

本标准规定了黄磷尾气制甲酸的通用要求、生产安全、甲酸产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的黄磷尾气制甲酸工程项目。

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GB/T 34246-2017 焦炉气制甲烷安全技术规程 现行 发布日期 :  2017-09-07 实施日期 :  2018-04-01

本标准规定了焦炉气制甲烷的通用要求、生产安全、甲烷产品贮存运输安全、检修安全及安全管理。本标准适用于新建、改建和扩建的焦炉气制甲烷工程项目。

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GB/T 34525-2017e 气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定 现行 发布日期 :  2017-10-14 实施日期 :  2018-05-01

This standard specifies the basic safety requirements for handling, loading and unloading, storing and using of gas cylinder in production, operation, storage area.
Cylinders described in the standard include seamless cylinders, welded cylinders, welded insulated cylinders, wrapped cylinder and cylinders containing materials at the normal ambient temperature of -40 ℃ to 60 ℃,with the nominal volume of 0.4 L to 3 000 L, the nominal working pressure of 0.2 MPa to 35 MPa (gauge pressure, the same below) and the product of pressure times volume greater than or equal to 1.0 MPa·L, these cylinders are used to fill compressed gases, high (low) pressure liquefied gases, cryogenic liquid gases, dissolved gases, adsorbed gases, liquid with standard boiling point equal to or lower than 60 ℃ and gas mixture.
Cylinders described in the standard exclude fire extinguisher cylinder that bear higher pressure in short time during firefighting but can not bear high pressure in storage for a l

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GB/T 34526-2017e 混合气体气瓶充装规定 现行 发布日期 :  2017-10-14 实施日期 :  2018-05-01

This standard specifies the terms and definitions,classification of gas mixtures,basic conditions,personnel requirements,equipment, facilities,technical requirements,filling of gas mixture cylinder,emergency management,packaging,marking,storage and transportation.
This standard is applicable to the filling of cylinders for preparing gas-gas mixture and liquid-liquid mixture.Filling of gas mixture cylinders with other special purposes can refer to this standard.

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GB/T 34674-2017 焦炉气制甲烷技术导则 现行 发布日期 :  2017-11-01 实施日期 :  2018-05-01

本标准规定了焦炉气制甲烷生产装置的总体要求、工艺设计、工艺设备与材料、主要辅助工程、验收、运行与维护、产品包装、贮存及运输。本标准适用于新建、扩建和改建的焦炉气制甲烷生产装置。

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GB/T 34710.1-2017 混合气体的分类 第1部分:毒性分类 现行 发布日期 :  2017-11-01 实施日期 :  2018-05-01

GB/T 34710的本部分规定了混合气体毒性的分类方法。本部分适用于混合气体的毒性分类。

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GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南 现行 发布日期 :  2017-11-01 实施日期 :  2018-02-01

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

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