本文件规定了测量压制金属粉末层的空气透过性和孔隙率,并得到外比表面积值的方法。在稳态流动条件下,采用层流空气在接近大气压的压力下确定粉末层的透过性。本文件不包括通过恒定体积法测量透过性的方法。本文件未指定特定的商业设备和相应的测试程序。但是,为方便用户起见,本文件列出了资料性附录(见附录A),旨在提供有关三种特定方法的一些实用信息。如果粉末有团聚现象,测量的外比表面积结果将受样品团聚程度的影响。如果相关方许可,可对团聚粉末进行分散处理(见附录B)。本文件适用于所有金属粉末,包括粒径不大于1 000 μm的硬质合金粉末,但通常用于粒径为0.2 μm~75 μm的颗粒。如相关方许可,本方法也可用于轴对称性差(例如薄片状和纤维状)的颗粒。本文件不适用于不同粉末的混合物和含有粘接剂或润滑剂的粉末。
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本文件描述了半导体镜面晶片表面深度为5 nm以内金属元素的全反射X射线荧光光谱(TXRF)测试方法。
本文件适用于硅、绝缘衬底上的硅(SOI)、锗、碳化硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、锑化镓等单晶抛光片或外延片表面金属沾污的测定,尤其适用于晶片清洗后自然氧化层或经化学方法生长的氧化层中沾污元素面密度的测定,测定范围:109 atoms/cm2~1 015 atoms/cm2。
本文件规定的方法能够检测周期表中原子序数16(S)~92(U)的元素,尤其适用于钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、砷、钼、钯、银、锡、钽、钨、铂、金、汞和铅等金属元素。
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This document specifies the method for determining the surface roughness,peak count and waviness for coldrolled metal sheet and strip,including principle,test pieces,measurement requirements,measurement procedures,value rounding of measurement results and test report.
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