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- GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
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标准号:
GB/T 13388-1992
标准名称:
硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
英文名称:
Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques标准状态:
被代替-
发布日期:
1992-02-19 -
实施日期:
1992-10-01 出版语种:
中文简体
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