我的标准 开发票 会员介绍
购物车 400-168-0010

AI 搜
标准详细信息 去购物车结算

【国家标准】 碳化硅单晶片平整度测试方法

本网站 发布时间： 2026-02-02
开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！   查看详情>>
标准简介标准简介

文前页下载

适用范围：

本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度，即总厚度变化（TTV)、局部厚度变化（LTV)、弯曲度（Bow)、翘曲度（Warp)的测试方法。本标准适用于直径为50.8 mm、76.2 mm、100 mm，厚度0.13 mm～1 mm碳化硅单晶抛光片平整度的测试。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 32278-2015

  • 标准名称：

    碳化硅单晶片平整度测试方法

  • 英文名称：

    Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers

  • 标准状态：

    被代替

  • 发布日期：

    2015-12-10

  • 实施日期：

    2017-01-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    9 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    陈小龙、郑红军、张玮、郭钰

  • 起草单位：

    北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

经营许可证编号 京ICP备16035570号-4 版权所有 侵权必究