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【国家标准】 表面化学分析　辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

本网站 发布时间： 2026-01-04
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适用范围：

本文件描述了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为5 nm~10 000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰、锆和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 32996-2025

  • 标准名称：

    表面化学分析　辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜

  • 英文名称：

    Surface chemical analysis—Analysis of metal oxide films by glow discharge optical emission spectrometry

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2025-06-30

  • 实施日期：

    2026-01-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    G04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《表面化学分析　辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    40 页

  • 字数：

    60 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    陈永康、徐建、赵志娟、张云艳、张笑旻、郝萍、王帅、周莹、刘芬、吴立敏

  • 起草单位：

    上海市计量测试技术研究院、上海科技大学、中国科学院化学研究所

  • 归口单位：

    全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

  • 提出部门：

    全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC 608)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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