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【国家标准】 电子级水中微粒的仪器测试方法

本网站 发布时间: 2014-05-15
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适用范围:

GB/T 11446的本部分规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。
本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的微粒粒径不小于0.05 μm,微粒的浓度范围为0~10 000个/mL。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 11446.9-2013

  • 标准名称:

    电子级水中微粒的仪器测试方法

  • 英文名称:

    Test method for particles in electronic grade water by instrument
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2013-12-31
  • 实施日期:

    2014-08-15
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    31-030
  • 中标分类号:

    L90

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    8 页
  • 字数:

    6 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    王奕 褚连青 何秀坤 段曙光 提刘旺 刘筠
  • 起草单位:

    信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所
  • 归口单位:

    中国电子技术标准化研究院
  • 提出部门:

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 发布部门:

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
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