【国家标准】氮化镓衬底片载流子浓度的测试　拉曼光谱法

本网站发布时间： 2019-06-03

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标准简介

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×1017 cm-3～1×1020 cm-3。

标准号：
GB/T 36705-2018
标准名称：
氮化镓衬底片载流子浓度的测试　拉曼光谱法
英文名称：
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
标准状态：
现行
发布日期：
2018-09-17
实施日期：
2019-06-01
出版语种：
中文简体

起草人：
郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、杨建
起草单位：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法