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- GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
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适用范围:
本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径,可测最大直径为300 mm。本标准不适用于测量硅片的不圆度。
读者对象:
硅片直径测量相关人员。
标准号:
GB/T 14140-2009
标准名称:
硅片直径测量方法
英文名称:
Test method for measuring diameter of semiconductor wafer标准状态:
现行-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-06-01 出版语种:
中文简体
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