【国家标准】表面化学分析　X射线光电子能谱　薄膜分析结果的报告

本网站发布时间： 2019-05-05

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标准简介

本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。

标准号：
GB/T 36401-2018
标准名称：
表面化学分析　X射线光电子能谱　薄膜分析结果的报告
英文名称：
Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
标准状态：
现行
发布日期：
2018-06-07
实施日期：
2019-05-01
出版语种：
中文简体

【国家标准】 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告