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【国家标准】 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

本网站 发布时间： 2014-11-02
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适用范围：

本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片(简称衬底片)厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 30857-2014

  • 标准名称：

    蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

  • 英文名称：

    Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2014-07-24

  • 实施日期：

    2015-04-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040

  • 中标分类号：

    H21

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    6 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮

  • 起草单位：

    协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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