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- GB/T 29504-2013 300 mm硅单晶
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适用范围:
本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13 μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
读者对象:
硅单晶生产企业、检验机构、相关研究单位等。
标准号:
GB/T 29504-2013
标准名称:
300 mm硅单晶
英文名称:
300 mm monocrystalline silicon标准状态:
现行-
发布日期:
2013-05-09 -
实施日期:
2014-02-01 出版语种:
中文简体
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