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【国家标准】 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
本网站 发布时间:
2022-07-01
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适用范围:
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为 2 eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
标准号:
GB/T 29732-2021
标准名称:
表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
英文名称:
Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis标准状态:
现行-
发布日期:
2021-12-31 -
实施日期:
2022-07-01 出版语种:
中文简体
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