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- GB/T 12963-2022 电子级多晶硅
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标准简介
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适用范围:
本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。
标准号:
GB/T 12963-2022
标准名称:
电子级多晶硅
英文名称:
Electronic-grade polycrystalline silicon标准状态:
现行-
发布日期:
2022-12-30 -
实施日期:
2023-07-01 出版语种:
中文简体
起草人:
田新 蒋文武 赵培芝 万首正 李素青 秦榕 王彬 孙燕 贺东江 陈卫群 宗冰 徐岩 邱艳梅 李斌 刘晓霞 张遵 付绪光 董先君 潘金平 张园园 雷聪起草单位:
江苏鑫华半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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