【国家标准】电子级五（二甲氨基）钽

本网站发布时间： 2025-11-03

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标准简介

本文件规定了半导体行业用电子级五(二甲氨基)钽的技术要求、检验规则、包装、标志及随货资料、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氮化钽、氧化钽和钽掺杂物等钽基薄膜的电子级五(二甲氨基)钽。

起草人：
陈德义、曹可慰、茅炳荣、徐文涛、杨敏、史泽远、孙明璐、陈鹏宇、孙鹏、张婷、赵俊莎、吴怡然、张健、罗文娇、李雪、高加新、郭威、王伟、魏良杰、毛国玉、张学奇、何晓晨、张宝帅、刘立伟、王小亮、孙丽丽、曹益宁、童祎、陆平、王博文、彭元兵、娄夏冰、刘能巧、孟庆典、孙建、高朋、张鹏、顾洋洋
起草单位：
南大光电半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院、苏州实验室、江苏南大光电材料股份有限公司、苏州源展材料科技有限公司、长江存储科技有限责任公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、全椒南大光电材料有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、南大光电(乌兰察布)有限公司、南大光电(淄博)有限公司、安徽博泰电子材料有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子级五（二甲氨基）钽