【国家标准】表面化学分析　俄歇电子能谱和X射线光电子能谱　横向分辨率测定

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GB/T 28632-2012
现行
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标准简介

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适用范围：

本标准规定了三种条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。直边法适用于横向分辨率预期值大于1 μm的仪器。栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 μm的仪器。金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
附录A、附录B和附录C给出了测量横向分辨率的带图的实例。

基本信息

标准号：
GB/T 28632-2012
标准名称：
表面化学分析　俄歇电子能谱和X射线光电子能谱　横向分辨率测定
英文名称：
Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution
标准状态：
现行
发布日期：
2012-07-31
实施日期：
2013-02-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
71.040.40
中标分类号：
G04

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《表面化学分析　俄歇电子能谱和X射线光电子能谱　横向分辨率测定》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
24 页
字数：
38 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
徐建陆敏吴立敏朱丽娜辛立辉何丹农张冰
起草单位：
上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
归口单位：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
提出部门：
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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