【国家标准】电子级磷酸

本网站发布时间： 2025-10-10

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标准简介

本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等，并描述了相应的试验方法。
本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。

起草人：
曹可慰、李少平、史泽远、赵俊莎、姜飞、陈惠云、顾玲燕、吴怡然、李祥庆、苏守进、聂新宇、张宝帅、胡国涛、贾成林、陈伟、徐海圣、张淑娟、王琴、姚莎、李万清、雷惠宪、李全东、叶瑞、贺兆波、黄如林、张永萍、黄俊群、钱森林、王洪华
起草单位：
中国电子技术标准化研究院、湖北兴福电子材料股份有限公司、贵州磷化(集团)有限责任公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、天富(江苏)科技有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、信联电子材料科技股份有限公司、广西川金诺化工有限公司、江苏澄星磷化工股份有限公司、云南省化工产品质量监督检验站、联仕新材料(苏州)股份有限公司、湖北三宁化工股份有限公司、广西钦州志诚化工有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化委员会(SAC/TC 203)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化委员会(SAC/TC 203)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 电子级磷酸