【国家标准】硅外延层载流子浓度的测试　电容-电压法

本网站发布时间： 2021-12-01

GB/T 14146-2021
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件规定了电容电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容电压法和无接触电容电压法。
本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013 cm-3～8×1016 cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。

基本信息

标准号：
GB/T 14146-2021
标准名称：
硅外延层载流子浓度的测试　电容-电压法
英文名称：
Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
标准状态：
现行
发布日期：
2021-05-21
实施日期：
2021-12-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
77.040
中标分类号：
H21

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
16 页
字数：
24 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
骆红、潘文宾、杨素心、赵扬、赵而敬、张佳磊、李慎重、黄黎、严琴、黄宇程、皮坤林
起草单位：
南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中电晶华(天津)半导体材料有限公司、有研半导体材料有限公司、河北普兴电子科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、无锡华润上华科技有限公司、义乌力迈新材料有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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