【行业标准】溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

本网站发布时间：

YS/T 837-2012
现行
定价： 21元 / 折扣价： 18 元
加购物车
在线阅读

开通会员免费在线看70000余条国内标准，赠送文本下载次数，单本最低仅合13.3元！还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权！查看详情>>

标准简介

文前页下载

适用范围：

本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

读者对象：

有色金属行业技术人员

基本信息

标准号：
YS/T 837-2012
标准名称：
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称：
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
标准状态：
现行
发布日期：
2012-11-07
实施日期：
2013-03-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
77.120.99
中标分类号：
H68

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：

出版信息

页数：
12 页
字数：
14 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平
起草单位：
有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所
归口单位：
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
提出部门：
发布部门：
中华人民共和国工业和信息化部

其它标准

上一篇： YS/T 836-2012 高铼酸
下一篇： YS/T 838-2012 碲化镉

推荐标准

【行业标准】 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法