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【行业标准】 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

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适用范围：

本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

读者对象：

有色金属行业技术人员

基本信息

  • 标准号：

    YS/T 837-2012

  • 标准名称：

    溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

  • 英文名称：

    Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2012-11-07

  • 实施日期：

    2013-03-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.120.99

  • 中标分类号：

    H68

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    12 页

  • 字数：

    14 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平

  • 起草单位：

    有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所

  • 归口单位：

    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

  • 提出部门：

  • 发布部门：

    中华人民共和国工业和信息化部
  • 其它标准
  • 推荐标准

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