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- YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了溅射用靶材背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等,该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
本标准适用于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
标准号:
YS/T 837-2012
标准名称:
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称:
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies标准状态:
现行-
发布日期:
2012-11-07 -
实施日期:
2013-03-01 出版语种:
中文简体
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