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【国家标准】 微机电系统(MEMS)技术　MEMS结构共振疲劳试验方法

本网站 发布时间： 2020-07-01
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适用范围：

本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 38447-2020

  • 标准名称：

    微机电系统(MEMS)技术　MEMS结构共振疲劳试验方法

  • 英文名称：

    Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2020-03-06

  • 实施日期：

    2020-07-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    31.200

  • 中标分类号：

    L55

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    20 页

  • 字数：

    32 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    张威 张亚婷 于振毅 陆学贵 朱悦 石云波 李海斌 程逸轩 周浩楠 陈得民

  • 起草单位：

    北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司

  • 归口单位：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 提出部门：

    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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