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【国家标准】 表面化学分析　深度剖析　用机械轮　廓仪栅网复型法测量溅射速率

本网站 发布时间： 2019-07-30
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适用范围：

暂无

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 32999-2016

  • 标准名称：

    表面化学分析　深度剖析　用机械轮　廓仪栅网复型法测量溅射速率

  • 英文名称：

    Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate:mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2016-10-13

  • 实施日期：

    2017-09-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    71.040.40

  • 中标分类号：

    G04

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

    《表面化学分析　深度剖析　用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》 IDT 等同采用

出版信息

  • 页数：

    24 页

  • 字数：

    36 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    吴正龙、姚文清

  • 起草单位：

    北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心

  • 归口单位：

    全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 提出部门：

    全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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