【国家标准】半导体器件　微电子机械器件　第5部分：射频MEMS开关

本网站发布时间： 2023-09-01

GB/T 42709.5-2023
现行
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标准简介

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适用范围：

本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号，描述了参数测试方法。本文件适用于各种类型的射频MEMS开关，射频MEMS开关的一般说明见附录A。按接触方式分类，包括直流触点型开关和电容触点型开关；按结构分类，包括串联开关和并联开关，射频MEMS开关的几何结构说明见附录B；按开关网络分类，包括单刀单掷开关、单刀双掷开关和双刀双掷开关等；按驱动方式分类，包括静电驱动开关、热电驱动开关、电磁驱动开关和压电驱动开关等。射频MEMS开关在多频带或多模式移动电话、智能雷达系统、可重构射频器件和系统、SDR（软件无线电）电话、测试设备、可调谐器件和系统、卫星等方面应用广泛，射频MEMS开关的应用说明见附录E。

基本信息

标准号：
GB/T 42709.5-2023
标准名称：
半导体器件　微电子机械器件　第5部分：射频MEMS开关
英文名称：
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 5:RF MEMS switches
标准状态：
现行
发布日期：
2023-05-23
实施日期：
2023-09-01
出版语种：
中文简体

标准分类号

标准ICS号：
31.200
中标分类号：
L40

关联标准

替代以下标准：
被以下标准替代：
引用标准：
采用标准：
《半导体器件　微电子机械器件　第5部分:射频MEMS开关》 IDT 等同采用

出版信息

页数：
36 页
字数：
50 千字
开本：
大16 开

其他信息

起草人：
刘若冰、李博、张威、陈得民、崔波、翟晓飞
起草单位：
中国电子技术标准化研究院、中国电子信息产业集团有限公司、北京大学、北京必创科技股份有限公司、河北美泰电子科技有限公司
归口单位：
中华人民共和国工业和信息化部
提出部门：
中华人民共和国工业和信息化部
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

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