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- GB/T 29506-2013 300 mm硅单晶抛光片
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了直径300 mm、p型、〈100〉晶向、电阻率0.5 Ω·cm~20 Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。
标准号:
GB/T 29506-2013
标准名称:
300 mm硅单晶抛光片
英文名称:
300 mm polished monocrystalline silicon wafers标准状态:
现行-
发布日期:
2013-05-09 -
实施日期:
2014-02-01 出版语种:
中文简体
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