本文件依据元器件和微电路对规定的人体模型(HBM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度,建立了元器件和微电路的ESD测试、评价和分级程序。本文件的目的是建立一种能够复现HBM失效的测试方法,并为不同类型的元器件提供可靠、可重复的HBM ESD测试结果,且测试结果不因测试设备而改变。重复性数据可以保证HBM ESD敏感度等级的准确划分及对比。半导体器件的ESD测试从本测试方法、机器模型(MM)测试方法(见IEC 6074927)或IEC 60749(所有部分)中的其他ESD测试方法中选择。除另有规定外,本测试方法为所选方法。
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本文件规定了ESD控制程序的要求,IEC TR 6134052提供了相关的实施指南。本文件适用于对静电敏感度不低于人体模型(HBM)100 V、带电器件模型(CDM )200 V和孤立导体35 V的电气、电子元件、组件和设备进行的制造、加工、组装、安装、包装、标识、服务、测试、检验、运输以及其他生产活动。处理具有更低静电敏感电压阈值的静电放电敏感产品时,可根据需要增加控制要素或调整限值,仍可视为符合本文件的要求。本文件不适用于电引爆设备、易燃液体、气体和粉体。本文件的目的是为建立、实施和维护ESD控制程序(以下简称“程序”)提供管理和技术要求。注: 孤立导体曾用机器模型(MM)表示。
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