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【国家标准】 高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了用高分辨X射线衍射测量GaAs衬底上AlGaAs外延层中Al含量的试验方法。
本方法适用于在未掺杂GaAs衬底<001>方向上生长的AlGaAs外延层中Al含量的测定,使用本方法测量Al元素含量时,AlGaAs外延层厚度应大于300 nm。
本方法适用于在未掺杂GaAs衬底<001>方向上生长的AlGaAs外延层中Al含量的测定,使用本方法测量Al元素含量时,AlGaAs外延层厚度应大于300 nm。
标准号:
GB/T 24576-2009
标准名称:
高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法
英文名称:
Test method for measuring the Al fraction in AlGaAs on GaAs substrates by high resolution X-ray diffraction标准状态:
现行-
发布日期:
2009-10-30 -
实施日期:
2010-06-01 出版语种:
中文简体
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