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- GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
标准号:
GB/T 16596-2019
标准名称:
确定晶片坐标系规范
英文名称:
Specification for establishing a wafer coordinate system标准状态:
现行-
发布日期:
2019-03-25 -
实施日期:
2020-02-01 出版语种:
中文简体
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