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【国家标准】 硅抛光片表面质量目测检验方法

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适用范围：

本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。
本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

读者对象：

硅抛光片表面质量测试相关人员。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 6624-2009

  • 标准名称：

    硅抛光片表面质量目测检验方法

  • 英文名称：

    Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2009-10-30

  • 实施日期：

    2010-06-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    29.045

  • 中标分类号：

    H80

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    5 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    徐新华、王珍

  • 起草单位：

    上海合晶硅材料有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会

  • 发布部门：

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准

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