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- GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范
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标准号:
GB/T 16595-2019
标准名称:
晶片通用网格规范
英文名称:
Specification for a universal wafer grid标准状态:
现行-
发布日期:
2019-03-25 -
实施日期:
2020-02-01 出版语种:
中文简体
起草人:
潘金平 饶伟星 杨素心 卢立延 楼春兰 徐新华 吴雄杰 高海军 王伟棱 郑欢欣 余俊军起草单位:
浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
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