标准详细信息 去购物车结算

【国家标准】 硅多晶真空区熔基硼检验方法

本网站 发布时间: 2019-06-03
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!   查看详情>>
标准简介标准简介

文前页下载

适用范围:

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01×1013 cm-3~5×1015 cm-3。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 4060-2018

  • 标准名称:

    硅多晶真空区熔基硼检验方法

  • 英文名称:

    Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2018-09-17
  • 实施日期:

    2019-06-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    77.040
  • 中标分类号:

    H17

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    12 页
  • 字数:

    13 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    胡伟 刘晓霞 耿全荣 鲁文锋 王桃霞 胡自强 宗冰 肖建忠 万烨 杨旭
  • 起草单位:

    江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所
  • 归口单位:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 提出部门:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 推荐标准
  • 国家标准计划