【国家标准】太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法

本网站发布时间： 2017-01-04

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标准简介

暂无

标准号：
GB/T 32281-2015
标准名称：
太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法
英文名称：
Test method for measuring oxygen,carbon,boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock—Secondary ion mass spectrometry
标准状态：
现行
发布日期：
2015-12-10
实施日期：
2017-01-01
出版语种：
中文简体

起草人：
薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林、宋高杰、刘国霞
起草单位：
江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司、宁夏银星多晶硅有限责任公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、新特能源股份有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

【国家标准】 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法