【国家标准】蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法

本网站发布时间： 2026-02-12

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标准简介

本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。
本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。

标准号：
GB/T 47089-2026
标准名称：
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
英文名称：
Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate
标准状态：
即将实施
发布日期：
2026-01-28
实施日期：
2026-08-01
出版语种：
中文简体

起草人：
张能、米波、肖桂明、朱晶、王子荣、朱广敏、康凯、鲁雅荣、王新强、徐军、袁冶
起草单位：
广东中图半导体科技股份有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、京东方华灿光电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同溧晶体材料研究院有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法