【国家标准】硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法

本网站发布时间： 2024-03-01

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标准简介

本文件描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
本文件适用于室温电阻率大于1 Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3 Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围(以原子数计)为2.5×1014 cm-3~1.5×1017 cm-3。

标准号：
GB/T 35306-2023
标准名称：
硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法
英文名称：
Determination of carbon and oxygen content in single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry method
标准状态：
现行
发布日期：
2023-08-06
实施日期：
2024-03-01
出版语种：
中文简体

起草人：
薛心禄秦榕李素青杨晓青邓浩岳玉芳李明珍赵雄张园园赵跃雷浩东蔡延国陈卫国路盛刚徐岩张遵邱艳梅李向宇杨阳徐志群汪奇
起草单位：
青海芯测科技有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、洛阳中硅高科技有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、高景太阳能股份有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法