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- GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
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标准简介
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适用范围:
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×1013 cm-3~500×1013 cm-3。
标准号:
GB/T 4059-2018
标准名称:
硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称:
Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere标准状态:
现行-
发布日期:
2018-12-28 -
实施日期:
2019-11-01 出版语种:
中文简体
起草人:
胡伟 耿全荣 胡自强 鲁文锋 柳德发 薛心禄 蔡延国 尹东林 宗凤云 邱艳梅 刘国霞 高明 楚东旭 刘翠 王瑞 姚利忠 梁洪 唐珊珊 王佳起草单位:
江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所、山东大海新能源发展有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
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