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【国家标准】 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

本网站 发布时间: 2019-11-01
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适用范围:

本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量(原子数)的测定,测定范围为0.01×1013 cm-3~500×1013 cm-3。

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 4059-2018

  • 标准名称:

    硅多晶气氛区熔基磷检验方法

  • 英文名称:

    Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2018-12-28
  • 实施日期:

    2019-11-01
  • 出版语种:

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号:

    77.040
  • 中标分类号:

    H17

关联标准

  • 替代以下标准:

  • 被以下标准替代:

  • 引用标准:

  • 采用标准:

出版信息

  • 页数:

    12 页
  • 字数:

    15 千字
  • 开本:

    大16 开

其他信息

  • 起草人:

    胡伟 耿全荣 胡自强 鲁文锋 柳德发 薛心禄 蔡延国 尹东林 宗凤云 邱艳梅 刘国霞 高明 楚东旭 刘翠 王瑞 姚利忠 梁洪 唐珊珊 王佳
  • 起草单位:

    江苏中能硅业科技发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、亚洲硅业(青海)有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、新特能源股份有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所、山东大海新能源发展有限公司
  • 归口单位:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 提出部门:

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
  • 发布部门:

    国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
  • 推荐标准
  • 国家标准计划