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【国家标准】 氮化镓材料中镁含量的测定　二次离子质谱法

本网站 发布时间： 2021-09-01
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适用范围：

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014 cm-3。

基本信息

  • 标准号：

    GB/T 39144-2020

  • 标准名称：

    氮化镓材料中镁含量的测定　二次离子质谱法

  • 英文名称：

    Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

  • 标准状态：

    现行

  • 发布日期：

    2020-10-11

  • 实施日期：

    2021-09-01

  • 出版语种：

    中文简体

标准分类号

  • 标准ICS号：

    77.040

  • 中标分类号：

    H17

关联标准

  • 替代以下标准：

  • 被以下标准替代：

  • 引用标准：

  • 采用标准：

出版信息

  • 页数：

    8 页

  • 字数：

    9 千字

  • 开本：

    大16 开

其他信息

  • 起草人：

    马农农 何友琴 陈潇 刘立娜 何烜坤 杨素心 闫方亮 杨丽霞 颜建锋 倪青青

  • 起草单位：

    中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司

  • 归口单位：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 提出部门：

    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

  • 发布部门：

    国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
  • 其它标准
  • 推荐标准
  • 国家标准计划

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