【国家标准】氮化镓材料中镁含量的测定　二次离子质谱法

本网站发布时间： 2021-09-01

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标准简介

本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014 cm-3。

标准号：
GB/T 39144-2020
标准名称：
氮化镓材料中镁含量的测定　二次离子质谱法
英文名称：
Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
标准状态：
现行
发布日期：
2020-10-11
实施日期：
2021-09-01
出版语种：
中文简体

起草人：
马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋、倪青青
起草单位：
中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法