【国家标准】氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法

本网站发布时间： 2023-04-03

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标准简介

本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法。本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.050 0 mg/g～0.600 mg/g。

标准号：
GB/T 42276-2022
标准名称：
氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定　离子色谱法
英文名称：
Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method
标准状态：
现行
发布日期：
2022-12-30
实施日期：
2023-04-01
出版语种：
中文简体

起草人：
银波邱艳梅刘国霞黄彬李素青张吉武宋炳信鲁文锋王港李玫张正霞吴英良侯倩慧王晓娇曹家凯高裕昆崔巍
起草单位：
新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
提出部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

【国家标准】 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法